根据洁净室国际标准ISO14644：百级洁净室就是5级。对于百级洁净室，其室内气流流型为垂直单向流或水平单向流，气流流速为：0.2~0.5m/s，百级洁净室0.5μm的尘埃粒子数为：3520PCS/m3。正常情况下其满布比达到80%，垂直单向流满布比不应小于60%，水平单向流满布比不应小于40%，否则就是局部单向流了。 
单向流洁净室下限风速建议值：
为了保证洁净室能控制以下四种污染的最小风速： 
a. 当污染气流多方位散布时，送风气流要能有效控制污染的范围； 
b. 当污染气流与送风气流同向时，送风气流要能有效控制污染气流到达下游的扩散范围； 
c. 当污染气流与送风气流逆向时，送风气流能把污染气流抑制在必要的距离之内； 
d. 在全室被污染的情况下，足以在合适的时间迅速使室内空气自净。